窗体顶端
1、采购货物相关信息：
（1）货物名称： 原子层沉积系统
（2）技术指标：
序号 |
货物/服务名称 |
详细参数要求 |
1 |
原子层沉积系统 |
|
原子层沉积系统 |
一、基本性能指标 1.反应器须满足基片尺寸4英寸要求，加热温度：室温~400oC，控制精度±0.1oC； 2.管路须配置4路通道源（可选配液源、固源和气源），每路采用进口耐高温、高速专用阀门； 须配置4个加热套，对进气管路和3路源进行加热，可加热至200 oC，控制精度±0.1 oC。 3.沉积厚度均匀性偏差：<+/-1%； 4.配置高浓度臭氧发生器、O2/O3气体管路和精密数字流量计，控制精度±0.1 sccm； 5.温控系统温控精度±0.1oC； 6.配置专用机械真空泵，极限压力达到4×10-3 mbar； 7.须自带集成控制系统软件 8.配备不低于100ml的铝源（三甲基铝）、25g铪源（四（二甲胺）铪）、100g钛源（四异丙醇钛）；配置设备同规格VCR垫片，不锈钢原料瓶等耗材；配置设备维修维护的基本工具一套。 |
2 |
售后服务 |
|
售后服务 |
1、供应商应具备完善的售后服务体系，供应商有固定的维护人员并有能力及时处理所有可能发生的故障。 2、在保质期以内，投标人在接到客户的维修通知对故障能在2小时内响应，24小时内派出有能力的维修人员赶到客户现场进行维修处理（若用户提出新的要求，在招标文件的采购设备清单中特别提出）。 3、在保质期满后，投标人应保证以低于市场的价格提供备件和保养服务，当发生故障时，投标人应按保质期内同样的要求进行维修处理，合理收取维修费。 4、质保期12个月。 |
（3）数量：
序号 |
产品 |
数量/单位 |
1 |
原子层沉积系统 |
1套 |
2 |
安装实施服务 |
1项 |
（4）交货期：合同签订后30天内
（5）交货地点：437ccm·必赢国际微电子学院
（6）是否接受进口产品：否
2、采购预算（最高限价）： 35.0万
3、参选单位资格要求：
（1）在中华人民共和国境内注册、响应招标、参加响应竞争的法人、其他组织或者自然人；
（2）响应人（供应商）应具备《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；
① 具有独立承担民事责任的能力；
② 具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度；
③ 具有履行合同所必需的设备和专业技术能力；
（3）本项目不接受联合体响应；
（4）本项目不允许转包、分包；
（5）近三年内，本项目响应截止期前，被“信用中国”网站列入失信被执行人和重大税收违法案件当事人名单的、被“中国政府采购网”网站列入政府采购严重违法失信行为记录名单（处罚期限尚未届满的），不得参与本项目；
（6）法律、行政法规关于“合格响应人”的其他条件。
4、报名方式及截止时间：
报名方式：按照以下要求准备报名信息发送至邮箱bhsme@buaa.edu.cn。
邮件标题：公司名称+采购项目名称；
邮件内容：需注明公司名称，地址，销售人员全名及联系方式；
附件：法人证书扫描件，法人授权书扫描件（含法人及销售人员身份证扫描件），采购需求中列出的相应销售/服务资质证明，整理为同一个PDF文件发送。不符合要求者不予接收；
截止报名时间：2020年9月9日17时。
5、竞价会时间及方式：
时间：2020年9月11日；方式：鉴于疫情影响，采取视频会议方式。具体时间和开会方式由学院采购工作领导小组办公室进一步通知。
6、参加竞价会所需提供材料：
9月11日前，参选供应商需将正式书面报价单和报名资料（均需加盖单位公章并密封好）邮寄至以下地址：
地址：北京市海淀区学院路37号柏彦大厦第一馆110室
王新河 老师收，手机号：15011422083
7、采购项目经办人联系方式（采购项目咨询）：
王新河 老师，邮箱：xinhe@buaa.edu.cn
8、学院采购工作领导小组办公室联系方式（异议或投诉）：
邵老师，bhsme@buaa.edu.cn或010-82316712（上午9点-11:30；下午14:30-17:00）
窗体底端
