1. 采购货物有关信息
1、采购货物相关信息：
（1）货物名称：反应离子刻蚀机
（2）技术指标：
序号
货物/服务名称
详细参数要求
1
反应离子刻蚀机
1.1
硬件要求
1. 工艺腔：进口6061铝材质。
2. 机架：空间优化的整体机架。表面丝印，防腐工艺。
3. 电柜：三相五线制，380V，标准电柜。
4. 下电极：阳极氧化铝材质，适用于6吋及以下尺寸样品，包括He背冷和水冷系统
5. 分子泵：抽速不低于600L/S
6. 干泵：抽速不低于30m3/h
7. 真空规：最大量程1Torr
8. 射频源：进口品牌，频率13.56MHz，功率600W，带自动匹配器
9. 气路配置：不少于5路，流量可调，进口MFC品牌，1/4 VCR接头、气动隔膜阀、管路。
10. 电气控制：配备电气部件、工控机、串口服务器等
11. 软件：包含推荐的工艺菜单；工艺自动控制，能够监测水电气、工艺气体流量、射频功率等参数；具有安全互锁功能。
1.2
工艺要求
1. 刻蚀材料：SiO2、SiNx、Si、部分金属
2. 刻蚀速率（6吋）：SiO2≥40nm/min，SiNx≥30nm/min，Si≥30nm/min
3. 刻蚀均匀性（6吋，EE5，五点极差法）：片内均匀性≤±5%，片间均匀性≤±5%
4. 刻蚀陡直度（6吋）：90±2°
5. Ta：刻蚀速率≥25 nm/min，与光刻胶选择比≥1:1，侧面倾角≥85°，不均匀性≤±5%；提供≤300NM标尺的SEM图片作为证明材料，提供详细刻蚀工艺菜单（至少包括电源功率、气体配置及比例等）。
6. Au：刻蚀图案为月牙型结构。提供≤200NM标尺的SEM图片作为证明材料，提供详细刻蚀工艺菜单（至少包括电源功率、气体配置及比例等）。
2
售后服务
1、供应商应具备完善的售后服务体系，供应商有固定的维护人员并有能力及时处理所有可能发生的故障。
投标单位投标时必须在投标文件中明确地提供售后服务机构或厂家、地址、电话、联系人等资料。
2、在保质期以内，投标人在接到客户的维修通知对故障能在2小时内响应，4小时内派出有能力的维修人员赶到客户现场进行维修处理（若用户提出新的要求，在招标文件的采购设备清单中特别提出）。
3、在保质期满后，投标人应保证以合理的价格提供备件和保养服务，当发生故障时，投标人应按保质期内同样的要求进行维修处理，合理收取维修费。
4、质保期1年。
（3）数量：
产品
数量/单位
1套
（4）交货期：合同签订后30天内
（5）交货地点：437ccm·必赢国际微电子学院
（6）是否接受进口产品：否
2、采购预算（最高限价）： 98.6万
3、参选单位资格要求：
（1）在中华人民共和国境内注册、响应招标、参加响应竞争的法人、其他组织或者自然人；
（2）响应人（供应商）应具备《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；
① 具有独立承担民事责任的能力；
② 具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度；
③ 具有履行合同所必需的设备和专业技术能力；
（3）本项目不接受联合体响应；
（4）本项目不允许转包、分包；
（5）近三年内，本项目响应截止期前，被“信用中国”网站列入失信被执行人和重大税收违法案件当事人名单的、被“中国政府采购网”网站列入政府采购严重违法失信行为记录名单（处罚期限尚未届满的），不得参与本项目；
（6）法律、行政法规关于“合格响应人”的其他条件。
4、报名方式及截止时间：
报名方式：将报名信息（公司名称、地址、营业执照扫描件、销售人员姓名、联系方式等）发送至邮箱bhsme@buaa.edu.cn。截止报名时间：2021年 4月21日17时。
5、竞价会时间及方式：
时间：2021年4月22日；方式：鉴于疫情影响，采取视频会议方式。具体时间和开会方式由学院采购工作领导小组办公室进一步通知。
6、参加竞价会所需提供材料：
4月21日18:00前，参选供应商需将正式书面报价单和报名资料（均需加盖单位公章并密封好）邮寄至以下地址：
地址：北京市海淀区437ccm·必赢国际北区第一馆
柳洋 老师收，手机号：18701363677
7、采购项目经办人联系方式（采购项目咨询）：
柳洋 老师，邮箱：liuyang_me@buaa.edu.cn
8、学院采购工作领导小组办公室联系方式（异议或投诉）：
邵老师，bhsme@buaa.edu.cn或010-82316712（上午9点-11:30；下午14:30-17:00）
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